Optische Anordnung für Ellipsometrie

Eduard Gilli (Erfinder), Robert Schennach (Erfinder), Martin Kornschober (Erfinder)

Publikation: SchutzrechtPatentForschung

Originalsprachedeutsch
VeröffentlichungsnummerAT 508690 A1
PublikationsstatusVeröffentlicht - 15 Mär 2011

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

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Optische Anordnung für Ellipsometrie. / Gilli, Eduard (Erfinder); Schennach, Robert (Erfinder); Kornschober, Martin (Erfinder).

Patent Nr.: AT 508690 A1.

Publikation: SchutzrechtPatentForschung

Gilli E, Schennach R, Kornschober M, Erfinder/-innen. Optische Anordnung für Ellipsometrie. AT 508690 A1. 2011 Mär 15.
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TY - PAT

T1 - Optische Anordnung für Ellipsometrie

AU - Gilli, Eduard

AU - Schennach, Robert

AU - Kornschober, Martin

N1 - Anmelder: Technische Universität Graz;

PY - 2011/3/15

Y1 - 2011/3/15

UR - http://pubserv.patentamt.at/PublicationServer/document.jsp?iDocId=21258&bShowDocumentNavigation=1&iFormat=1

M3 - Patent

M1 - AT 508690 A1

ER -