Optische Anordnung für Ellipsometrie

Eduard Gilli (Erfinder), Robert Schennach (Erfinder), Martin Kornschober (Erfinder)

Publikation: SchutzrechtPatent

Originalsprachedeutsch
VeröffentlichungsnummerAT 508690 A1
PublikationsstatusVeröffentlicht - 15 Mär 2011

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

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