Optische Anordnung für Ellipsometrie

Eduard Gilli (Erfinder), Robert Schennach (Erfinder), Martin Kornschober (Erfinder)

Institut für Festkörperphysik (5130)

Publikation: Schutzrecht › Patent

2 Ergebnisse

Abgeschlossen
Optische Anordnung für Ellipso - Optische Anordnung für Spektroskopische Ellipsometrie
Schennach, R., Kornschober, M. & Gilli, E.
1/10/09 → 31/03/11
Projekt: Forschungsprojekt
CD-Labor für Oberflächenphysikalische und chemische Grundlagen der Papierfestigkeit
Hirn, U., Bauer, W., Suppan, L., Miletzky, F. A., Diebald, S., Fischer, W. J., Gilli, E., Schennach, E., Lahti, J. A., Weber, F. & Schennach, R.
1/03/07 → 28/02/14
Projekt: Forschungsprojekt