Optische Anordnung für Ellipsometrie

Eduard Gilli (Inventor), Robert Schennach (Inventor), Martin Kornschober (Inventor)

Research output: PatentResearch

Original languageGerman
Patent numberAT 508690 A1
Publication statusPublished - 15 Mar 2011

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

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Optische Anordnung für Ellipsometrie. / Gilli, Eduard (Inventor); Schennach, Robert (Inventor); Kornschober, Martin (Inventor).

Patent No.: AT 508690 A1.

Research output: PatentResearch

Gilli E, Schennach R, Kornschober M, inventors. Optische Anordnung für Ellipsometrie. AT 508690 A1. 2011 Mar 15.
@misc{4467f5c3c45147b396525280a52e0196,
title = "Optische Anordnung f{\"u}r Ellipsometrie",
author = "Eduard Gilli and Robert Schennach and Martin Kornschober",
note = "Anmelder: Technische Universit{\"a}t Graz;; AT 508690 A1",
year = "2011",
month = "3",
day = "15",
language = "deutsch",
type = "Patent",

}

TY - PAT

T1 - Optische Anordnung für Ellipsometrie

AU - Gilli, Eduard

AU - Schennach, Robert

AU - Kornschober, Martin

N1 - Anmelder: Technische Universität Graz;

PY - 2011/3/15

Y1 - 2011/3/15

UR - http://pubserv.patentamt.at/PublicationServer/document.jsp?iDocId=21258&bShowDocumentNavigation=1&iFormat=1

M3 - Patent

M1 - AT 508690 A1

ER -