Universal software for the real-time control of sequential processing techniques

Julian Pilz, Martin Tazreiter, Anna Maria Coclite

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelBegutachtung

Originalspracheenglisch
Aufsatznummer063201
FachzeitschriftJournal of Vacuum Science and Technology / A
Jahrgang37
Ausgabenummer6
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1 Nov. 2019

ASJC Scopus subject areas

  • Physik der kondensierten Materie
  • Oberflächen und Grenzflächen
  • Oberflächen, Beschichtungen und Folien

Kooperationen

  • NAWI Graz

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