Thermally induced stresses in thin aluminium layers grown on silicon

Ernst Eiper, Roland Resel, C. Eisenmenger-Sittner, M. Hafok, J. Keckes

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)74-76
FachzeitschriftPowder diffraction
Jahrgang19
Ausgabenummer1
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2004

Dieses zitieren