Focused particle beam nano-machining: the next evolution step towards simulation aided process prediction

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)050501-pp4
FachzeitschriftNanotechnology
Jahrgang26
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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