WaCon - Wafer Control - Modellierung, Reglerentwurf und Implementierung für Regel-, Fluss-, Misch- und Heizungssysteme sowie deren Zusammenspiel am Lam Research Waferprozessmaschinen

Projekt: Forschungsprojekt

Fingerprint

Erkunden Sie die Forschungsthemen, die von diesem Projekt angesprochen werden. Diese Bezeichnungen werden den ihnen zugrunde liegenden Bewilligungen/Fördermitteln entsprechend generiert. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

Engineering