WaCon - Wafer Control - Modellierung, Reglerentwurf und Implementierung für Regel-, Fluss-, Misch- und Heizungssysteme sowie deren Zusammenspiel am Lam Research Waferprozessmaschinen

Projekt: Foschungsprojekt

Projektdetails

Beschreibung

Ziel der Dissertation ist es ein Gesamtkonzept für das Prozessmanagement in Hinblick auf Temperaturprofile und Durchflussprofile am Wafer während des Ätz.- bzw. Reinigungsprozesses zu entwerfen und in die Praxis umzusetzen.
StatusAbschlussdatum
Tatsächlicher Beginn/ -es Ende1/05/1430/04/17