Optische Anordnung für Ellpisometrie

Eduard Gilli (Inventor), Robert Schennach (Inventor), Martin Kornschober (Inventor)

Research output: PatentResearch

Original languageGerman
Patent numberWO 2011/022745
Publication statusPublished - 3 Mar 2011

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

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Gilli, E., Schennach, R., & Kornschober, M. (2011). Optische Anordnung für Ellpisometrie. (Patent No. WO 2011/022745).

Optische Anordnung für Ellpisometrie. / Gilli, Eduard (Inventor); Schennach, Robert (Inventor); Kornschober, Martin (Inventor).

Patent No.: WO 2011/022745.

Research output: PatentResearch

Gilli E, Schennach R, Kornschober M, inventors. Optische Anordnung für Ellpisometrie. WO 2011/022745. 2011 Mar 3.
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TY - PAT

T1 - Optische Anordnung für Ellpisometrie

AU - Gilli, Eduard

AU - Schennach, Robert

AU - Kornschober, Martin

N1 - Anmelder: Technische Universität Graz;

PY - 2011/3/3

Y1 - 2011/3/3

UR - http://www.wipo.int/patentscope/search/en/docservicepdf_pct/id00000013170488?download

M3 - Patent

M1 - WO 2011/022745

ER -