Nitridation of Niobium Pentoxide Films in Ammonia by Rapid Thermal Processing

Volha Matylitskaya, Gerald Kothleitner, Wolfgang Bock, B.O. Kolbesen

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	englisch
Seiten (von - bis)	1585-1593
Fachzeitschrift	Zeitschrift für Anorganische und Allgemeine Chemie
DOIs	https://doi.org/10.1002/zaac.200801355
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2009

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TY - JOUR

T1 - Nitridation of Niobium Pentoxide Films in Ammonia by Rapid Thermal Processing

AU - Matylitskaya, Volha

AU - Kothleitner, Gerald

AU - Bock, Wolfgang

AU - Kolbesen, B.O.

PY - 2009

Y1 - 2009

U2 - 10.1002/zaac.200801355

DO - 10.1002/zaac.200801355

M3 - Article

SN - 1521-3749

SP - 1585

EP - 1593

JO - Zeitschrift für Anorganische und Allgemeine Chemie

JF - Zeitschrift für Anorganische und Allgemeine Chemie

ER -