Nitridation of Niobium Pentoxide Films in Ammonia by Rapid Thermal Processing

Volha Matylitskaya, Gerald Kothleitner, Wolfgang Bock, B.O. Kolbesen

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1585-1593
FachzeitschriftZeitschrift für Anorganische und Allgemeine Chemie
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2009

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