Etching of polyethylene terephthalate thin films by neutral oxygen atoms in the late flowing afterglow of oxygen plasma

Alenka Vesel*, Metod Kolar, Ales Doliska, Karin Stana-Kleinschek, Miran Mozetic

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

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