Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern

Peter Warbichler, Bernd Kolbesen, O. Brunkahl, C. Angelkort, W. Bock, H. Oechsner, K. Röll, K. Thoma

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

Original languageGerman
Title of host publication12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,
Publisher.
PagesP19-P19
Publication statusPublished - 2003

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Warbichler, P., Kolbesen, B., Brunkahl, O., Angelkort, C., Bock, W., Oechsner, H., ... Thoma, K. (2003). Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. In 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen, (pp. P19-P19). ..

Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. / Warbichler, Peter; Kolbesen, Bernd; Brunkahl, O.; Angelkort, C.; Bock, W.; Oechsner, H.; Röll, K.; Thoma, K.

12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,. ., 2003. p. P19-P19.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

Warbichler, P, Kolbesen, B, Brunkahl, O, Angelkort, C, Bock, W, Oechsner, H, Röll, K & Thoma, K 2003, Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. in 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,. ., pp. P19-P19.
Warbichler P, Kolbesen B, Brunkahl O, Angelkort C, Bock W, Oechsner H et al. Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. In 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,. . 2003. p. P19-P19
Warbichler, Peter ; Kolbesen, Bernd ; Brunkahl, O. ; Angelkort, C. ; Bock, W. ; Oechsner, H. ; Röll, K. ; Thoma, K. / Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,. ., 2003. pp. P19-P19
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TY - GEN

T1 - Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern

AU - Warbichler, Peter

AU - Kolbesen, Bernd

AU - Brunkahl, O.

AU - Angelkort, C.

AU - Bock, W.

AU - Oechsner, H.

AU - Röll, K.

AU - Thoma, K.

PY - 2003

Y1 - 2003

M3 - Beitrag in einem Konferenzband

SP - P19-P19

BT - 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,

PB - .

ER -