| Original language | German |
|---|---|
| Title of host publication | 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen, |
| Publisher | . |
| Pages | P19-P19 |
| Publication status | Published - 2003 |
Cite this
Warbichler, P., Kolbesen, B., Brunkahl, O., Angelkort, C., Bock, W., Oechsner, H., ... Thoma, K. (2003). Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. In 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen, (pp. P19-P19). ..
Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. / Warbichler, Peter; Kolbesen, Bernd; Brunkahl, O.; Angelkort, C.; Bock, W.; Oechsner, H.; Röll, K.; Thoma, K.
12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,. ., 2003. p. P19-P19.Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
Warbichler, P, Kolbesen, B, Brunkahl, O, Angelkort, C, Bock, W, Oechsner, H, Röll, K & Thoma, K 2003, Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. in 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,. ., pp. P19-P19.
Warbichler P, Kolbesen B, Brunkahl O, Angelkort C, Bock W, Oechsner H et al. Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. In 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,. . 2003. p. P19-P19
@inproceedings{2a6c838edc564245b99faad3c8a0205f,
title = "Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern",
author = "Peter Warbichler and Bernd Kolbesen and O. Brunkahl and C. Angelkort and W. Bock and H. Oechsner and K. R{\"o}ll and K. Thoma",
year = "2003",
language = "deutsch",
pages = "P19--P19",
booktitle = "12. Tagung Festk{\"o}rperanalytik, Wien, Kurzfassungen,",
publisher = ".",
}
TY - GEN
T1 - Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern
AU - Warbichler, Peter
AU - Kolbesen, Bernd
AU - Brunkahl, O.
AU - Angelkort, C.
AU - Bock, W.
AU - Oechsner, H.
AU - Röll, K.
AU - Thoma, K.
PY - 2003
Y1 - 2003
M3 - Beitrag in einem Konferenzband
SP - P19-P19
BT - 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,
PB - .
ER -