Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern

Peter Warbichler, Bernd Kolbesen, O. Brunkahl, C. Angelkort, W. Bock, H. Oechsner, K. Röll, K. Thoma

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Original language	German
Title of host publication	12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,
Publisher	.
Pages	P19-P19
Publication status	Published - 2003

Warbichler, P., Kolbesen, B., Brunkahl, O., Angelkort, C., Bock, W., Oechsner, H., ... Thoma, K. (2003). Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. In 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen, (pp. P19-P19). ..

12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,. ., 2003. p. P19-P19.

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TY - GEN

T1 - Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern

AU - Warbichler, Peter

AU - Kolbesen, Bernd

AU - Brunkahl, O.

AU - Angelkort, C.

AU - Bock, W.

AU - Oechsner, H.

AU - Röll, K.

AU - Thoma, K.

PY - 2003

Y1 - 2003

M3 - Beitrag in einem Konferenzband

SP - P19-P19

BT - 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,

PB - .

ER -

Projects

Project: Research area

Project: Research project