Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern

Peter Warbichler, Bernd Kolbesen, O. Brunkahl, C. Angelkort, W. Bock, H. Oechsner, K. Röll, K. Thoma

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Original languageGerman
Title of host publication12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,
Publisher.
PagesP19-P19
Publication statusPublished - 2003

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Warbichler, P., Kolbesen, B., Brunkahl, O., Angelkort, C., Bock, W., Oechsner, H., ... Thoma, K. (2003). Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. In 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen, (pp. P19-P19). ..