Original language | German |
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Title of host publication | 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen, |
Publisher | . |
Pages | P19-P19 |
Publication status | Published - 2003 |
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Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern. / Warbichler, Peter; Kolbesen, Bernd; Brunkahl, O.; Angelkort, C.; Bock, W.; Oechsner, H.; Röll, K.; Thoma, K.
12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,. ., 2003. p. P19-P19.Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
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TY - GEN
T1 - Vergleich der Eigenschaften aufgedampfter und aufgesputterter Niob-Schichten auf Silicium- und Saphirwafern
AU - Warbichler, Peter
AU - Kolbesen, Bernd
AU - Brunkahl, O.
AU - Angelkort, C.
AU - Bock, W.
AU - Oechsner, H.
AU - Röll, K.
AU - Thoma, K.
PY - 2003
Y1 - 2003
M3 - Beitrag in einem Konferenzband
SP - P19-P19
BT - 12. Tagung Festkörperanalytik, Wien, Kurzfassungen,
PB - .
ER -