Polymerisation von 2-Oxazolinen und deren Anwendung in der Photolithographie

Martin Fimberger, Andreas Behrendt, Franz Stelzer, Frank Wiesbrock

Research output: Contribution to conference(Old data) Lecture or PresentationResearch

Original languageGerman
Publication statusPublished - 22 Jun 2015
EventChemistry and Technology of Materials -
Duration: 23 Nov 20118 Jun 2015

Conference

ConferenceChemistry and Technology of Materials
Period23/11/118/06/15

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Application
  • Experimental

Cite this

Fimberger, M., Behrendt, A., Stelzer, F., & Wiesbrock, F. (2015). Polymerisation von 2-Oxazolinen und deren Anwendung in der Photolithographie. Chemistry and Technology of Materials, .

Polymerisation von 2-Oxazolinen und deren Anwendung in der Photolithographie. / Fimberger, Martin; Behrendt, Andreas; Stelzer, Franz; Wiesbrock, Frank.

2015. Chemistry and Technology of Materials, .

Research output: Contribution to conference(Old data) Lecture or PresentationResearch

Fimberger, M, Behrendt, A, Stelzer, F & Wiesbrock, F 2015, 'Polymerisation von 2-Oxazolinen und deren Anwendung in der Photolithographie' Chemistry and Technology of Materials, 23/11/11 - 8/06/15, .
Fimberger M, Behrendt A, Stelzer F, Wiesbrock F. Polymerisation von 2-Oxazolinen und deren Anwendung in der Photolithographie. 2015. Chemistry and Technology of Materials, .
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TY - CONF

T1 - Polymerisation von 2-Oxazolinen und deren Anwendung in der Photolithographie

AU - Fimberger, Martin

AU - Behrendt, Andreas

AU - Stelzer, Franz

AU - Wiesbrock, Frank

PY - 2015/6/22

Y1 - 2015/6/22

M3 - (Altdaten) Vortrag oder Präsentation

ER -