OPTICAL ARRANGEMENT FOR ELLIPSOMETRY

Eduard Gilli, (Inventor), Robert Schennach, (Inventor), Martin Kornschober, (Inventor)

Research output: PatentResearch

Abstract

In an optical arrangement (1) for measuring spectroscopic properties of a sample located at a sample position (2), a light bundle is directed at the sample position at an adjustable angle of incidence (f) by means of a first rotating mirror (7) and a first arc-shaped main mirror (8), and the light reflected from the sample position is fed to a measurement by means of a second arc-shaped main mirror (18) and a second rotating mirror (17). The first and second main mirrors (8, 18) have a mirror surface that corresponds to at least one strip-shaped section of a surface of revolution about the main axis (4) and that casts light coming from the first rotating mirror (7) in the different adjustable rotational positions thereof onto the sample position, wherein the rotating mirrors (7, 17) are arranged opposite each other on the main axis (4) and are both tilted from their rotational axes by an angle.

Translated title of the contributionOPTICAL ARRANGEMENT FOR ELLIPSOMETRY
Original languageGerman
Patent numberWO2011022745
IPCG01N 21/ 21 A I
Priority date26/08/09
Publication statusPublished - 3 Mar 2011

Fingerprint

rotating mirrors
ellipsometry
mirrors
arcs
bundles
casts
strip
incidence

Cite this

Gilli, E., Schennach, R., & Kornschober, M. (2011). IPC No. G01N 21/ 21 A I. OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE. (Patent No. WO2011022745).

OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE. / Gilli, Eduard (Inventor); Schennach, Robert (Inventor); Kornschober, Martin (Inventor).

IPC No.: G01N 21/ 21 A I. Patent No.: WO2011022745.

Research output: PatentResearch

Gilli, E, Schennach, R & Kornschober, M 2011, OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE, Patent No. WO2011022745, IPC No. G01N 21/ 21 A I.
Gilli, E, Schennach, R, Kornschober, M, inventors. OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE. G01N 21/ 21 A I. 2011 Mar 3.
Gilli, Eduard (Inventor) ; Schennach, Robert (Inventor) ; Kornschober, Martin (Inventor). / OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE. IPC No.: G01N 21/ 21 A I. Patent No.: WO2011022745.
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title = "OPTISCHE ANORDNUNG F{\"U}R ELLIPSOMETRIE",
abstract = "In einer optischen Anordnung (1) zum Messen spektroskopischer Eigenschaften einer an einer Probenposition (2) befindlichen Probe wird ein Lichtb{\"u}ndel {\"u}ber einen ersten Drehspiegel (7) und einen ersten bogenf{\"o}rmigen Hauptspiegel (8) auf die Probenposition in einem einstellbaren Einfallswinkel (f) gelenkt, und das von der Probenposition reflektierte Licht wird {\"u}ber einen zweiten bogenf{\"o}rmigen Hauptspiegel (18) und einen zweiten Drehspiegel (17) einer Messung zugef{\"u}hrt. Erster und zweiter Hauptspiegel (8, 18) haben eine Spiegelfl{\"a}che, die zumindest einem streifenf{\"o}rmigen Ausschnitt einer Rotationsfl{\"a}che um die Hauptachse (4) entspricht und die von dem ersten Drehspiegel (7) in dessen verschiedenen einstellbaren Drehpositionen ausgehendes Licht auf die Probenposition wirft, wobei die Drehspiegel (7, 17) einander gegen{\"u}ber auf der Hauptachse (4) angeordnet sind und beide gegen{\"u}ber ihren Drehachsen um einen Winkel geneigt sind.",
author = "Eduard Gilli, and Robert Schennach, and Martin Kornschober,",
year = "2011",
month = "3",
day = "3",
language = "deutsch",
type = "Patent",
note = "WO2011022745; G01N 21/ 21 A I",

}

TY - PAT

T1 - OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE

AU - Gilli,, Eduard

AU - Schennach,, Robert

AU - Kornschober,, Martin

PY - 2011/3/3

Y1 - 2011/3/3

N2 - In einer optischen Anordnung (1) zum Messen spektroskopischer Eigenschaften einer an einer Probenposition (2) befindlichen Probe wird ein Lichtbündel über einen ersten Drehspiegel (7) und einen ersten bogenförmigen Hauptspiegel (8) auf die Probenposition in einem einstellbaren Einfallswinkel (f) gelenkt, und das von der Probenposition reflektierte Licht wird über einen zweiten bogenförmigen Hauptspiegel (18) und einen zweiten Drehspiegel (17) einer Messung zugeführt. Erster und zweiter Hauptspiegel (8, 18) haben eine Spiegelfläche, die zumindest einem streifenförmigen Ausschnitt einer Rotationsfläche um die Hauptachse (4) entspricht und die von dem ersten Drehspiegel (7) in dessen verschiedenen einstellbaren Drehpositionen ausgehendes Licht auf die Probenposition wirft, wobei die Drehspiegel (7, 17) einander gegenüber auf der Hauptachse (4) angeordnet sind und beide gegenüber ihren Drehachsen um einen Winkel geneigt sind.

AB - In einer optischen Anordnung (1) zum Messen spektroskopischer Eigenschaften einer an einer Probenposition (2) befindlichen Probe wird ein Lichtbündel über einen ersten Drehspiegel (7) und einen ersten bogenförmigen Hauptspiegel (8) auf die Probenposition in einem einstellbaren Einfallswinkel (f) gelenkt, und das von der Probenposition reflektierte Licht wird über einen zweiten bogenförmigen Hauptspiegel (18) und einen zweiten Drehspiegel (17) einer Messung zugeführt. Erster und zweiter Hauptspiegel (8, 18) haben eine Spiegelfläche, die zumindest einem streifenförmigen Ausschnitt einer Rotationsfläche um die Hauptachse (4) entspricht und die von dem ersten Drehspiegel (7) in dessen verschiedenen einstellbaren Drehpositionen ausgehendes Licht auf die Probenposition wirft, wobei die Drehspiegel (7, 17) einander gegenüber auf der Hauptachse (4) angeordnet sind und beide gegenüber ihren Drehachsen um einen Winkel geneigt sind.

M3 - Patent

M1 - WO2011022745

ER -