Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen

K. Stöflin, A. Behrendt, Theo Neger

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearch

Original languageGerman
Title of host publication56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft
Publisher.
Pages122-123
Publication statusPublished - 2006
EventJahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft - Graz, Austria
Duration: 18 Sep 200621 Sep 2006

Conference

ConferenceJahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft
CountryAustria
CityGraz
Period18/09/0621/09/06

Cite this

Stöflin, K., Behrendt, A., & Neger, T. (2006). Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen. In 56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft (pp. 122-123). ..

Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen. / Stöflin, K.; Behrendt, A.; Neger, Theo.

56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft. ., 2006. p. 122-123.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearch

Stöflin, K, Behrendt, A & Neger, T 2006, Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen. in 56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft. ., pp. 122-123, Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft, Graz, Austria, 18/09/06.
Stöflin K, Behrendt A, Neger T. Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen. In 56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft. . 2006. p. 122-123
Stöflin, K. ; Behrendt, A. ; Neger, Theo. / Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen. 56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft. ., 2006. pp. 122-123
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TY - GEN

T1 - Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen

AU - Stöflin, K.

AU - Behrendt, A.

AU - Neger, Theo

PY - 2006

Y1 - 2006

M3 - Beitrag in einem Konferenzband

SP - 122

EP - 123

BT - 56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft

PB - .

ER -