Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen

K. Stöflin, A. Behrendt, Theo Neger

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

Original languageGerman
Title of host publication56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft
Publisher.
Pages122-123
Publication statusPublished - 2006
EventJahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft - Graz, Austria
Duration: 18 Sep 200621 Sep 2006

Conference

ConferenceJahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft
CountryAustria
CityGraz
Period18/09/0621/09/06

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