Design und Optimierung eines Klarlacks für Anwendungen in der Halbleitertechnologie

Lisa Ellmaier, Verena Schenk, Franz Stelzer, Frank Wiesbrock

Research output: Contribution to conference(Old data) Lecture or PresentationResearch

Original languageGerman
Publication statusPublished - 22 Jun 2011
EventChemistry and Technology of Materials -
Duration: 23 Nov 20118 Jun 2015

Conference

ConferenceChemistry and Technology of Materials
Period23/11/118/06/15

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

Cite this

Design und Optimierung eines Klarlacks für Anwendungen in der Halbleitertechnologie. / Ellmaier, Lisa; Schenk, Verena; Stelzer, Franz; Wiesbrock, Frank.

2011. Chemistry and Technology of Materials, .

Research output: Contribution to conference(Old data) Lecture or PresentationResearch

Ellmaier, L, Schenk, V, Stelzer, F & Wiesbrock, F 2011, 'Design und Optimierung eines Klarlacks für Anwendungen in der Halbleitertechnologie' Chemistry and Technology of Materials, 23/11/11 - 8/06/15, .
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TY - CONF

T1 - Design und Optimierung eines Klarlacks für Anwendungen in der Halbleitertechnologie

AU - Ellmaier, Lisa

AU - Schenk, Verena

AU - Stelzer, Franz

AU - Wiesbrock, Frank

PY - 2011/6/22

Y1 - 2011/6/22

M3 - (Altdaten) Vortrag oder Präsentation

ER -