WaCon - Wafer Control - modelling, simulation and control of flow, mixing and heating systems of a chemical surface treatment process

Project: Research project

Project Details


Ziel der Dissertation ist es ein Gesamtkonzept für das Prozessmanagement in Hinblick auf Temperaturprofile und Durchflussprofile am Wafer während des Ätz.- bzw. Reinigungsprozesses zu entwerfen und in die Praxis umzusetzen.
Effective start/end date1/05/1430/04/17


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