Pipe cleaning plant for blocked pipes from semiconducting plants

Project: Research project

Description

In der Halbleiterproduktion treten immer wieder Verblockungen der Rohre aus den Reinsträumen auf und zwar vermehrt nach der Vakuumpumpe. Der Grund liegt darin, daß durch die geänderten Druckverhältnisse sich Substanzen abscheiden und in weiterer Folge zu einer Verblockung führen.
Im Rahmen dieses Projektes wurden unterschiedliche Lösemittel in Zusammenhang mit Temperaturvariation und Ultraschall für die Reinigung untersucht. Basierend auf diesen Versuchsdaten wurde eine mobile Versuchsanlage geplant und gebaut.
StatusFinished
Effective start/end date1/12/9928/02/01