X-ray Lithography: fundamentals and applications

Massimo Tormen, Gianluca Grenci, Benedetta Marmiroli, Filippo Romanato

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in Buch/Bericht

Originalspracheenglisch
TitelNanolithography
ErscheinungsortLondon (UK), Hoboken (USA)
Herausgeber (Verlag)ISTE-Wiley
Seiten1-325
Auflage1
ISBN (Print)978-1-84821-211-4
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2011

Fields of Expertise

  • Sonstiges

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Application
  • Theoretical
  • Experimental
  • Review

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