Originalsprache | englisch |
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Titel | Nanolithography |
Erscheinungsort | London (UK), Hoboken (USA) |
Herausgeber (Verlag) | ISTE-Wiley |
Seiten | 1-325 |
Auflage | 1 |
ISBN (Print) | 978-1-84821-211-4 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2011 |
Fields of Expertise
- Sonstiges
Treatment code (Nähere Zuordnung)
- Application
- Theoretical
- Experimental
- Review