Verfahren zur Herstellung von Hydridosilanen

Stephan Wieber (Erfinder), Matthias Patz (Erfinder), Martin Trocha (Erfinder), Hartwig Rauleder (Erfinder), Ekkehard Müh (Erfinder), Harald Stüger (Erfinder), Christoph Walkner (Erfinder)

Publikation: SchutzrechtPatent

Originalsprachedeutsch
VeröffentlichungsnummerDE 102009053804 B3
PublikationsstatusVeröffentlicht - 17 März 2011

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

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