Vanadium Nitride Films Formed by Rpid Thermal Processing (RTP): Depth Profiles and Interface Reactions Studied by Complementary Analytical Techniques

A. Berendes, I. Galesic, R. Mertens, Peter Warbichler, Ferdinand Hofer, B.O. Kolbesen, W. Bock, H. Oechsner, E. Theodossiu, H. Baumann

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1769-1777
FachzeitschriftZeitschrift für Anorganische und Allgemeine Chemie
Jahrgang629
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2003

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