Vacuum-Assisted Selective Adhesive Imprinting for Photonic Packaging of Complex MOEMS Devices: Assembly of Miniaturized Particle Sensor

Jaka Pribosek*, Markus Zauner, Jochen Bardong, Alfred Binder, Paul Maierhofer, Alexander Bergmann, Georg Röhrer

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

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