Tuning of optical and structural properties of ZnO deposited by room temperature-plasma assisted atomic layer deposition

Alberto Perrotta, Julian Pilz, Anna Maria Coclite

Publikation: Konferenzbeitrag(Altdaten) Vortrag oder Präsentation

Originalspracheenglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2 Nov 2017
Veranstaltung2017 AVS International Symposium & Exhibition - Tampa, USA / Vereinigte Staaten
Dauer: 29 Okt 20173 Nov 2017

Konferenz

Konferenz2017 AVS International Symposium & Exhibition
KurztitelAVS 2017
LandUSA / Vereinigte Staaten
OrtTampa
Zeitraum29/10/173/11/17

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