Towards pure and compact FEBID deposits via e-beam assisted H2O purification at room temperature

Barbara Geier, Christian Gspan, J.D. Fowlkes, P.D. Rack, Harald Plank

Publikation: KonferenzbeitragPoster

Originalspracheenglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014
Veranstaltung18th IMC 2014 Prag - Prag, Tschechische Republik
Dauer: 7 Sept. 201412 Sept. 2014

Konferenz

Konferenz18th IMC 2014 Prag
Land/GebietTschechische Republik
OrtPrag
Zeitraum7/09/1412/09/14

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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