The influence of beam defocus on volume growth rates for electron beam induced platinum deposition

Harald Plank; Christian Gspan; Martina Dienstleder; Gerald Kothleitner; Ferdinand Hofer

doi:10.1088/0957-4484/19/48/485302

The influence of beam defocus on volume growth rates for electron beam induced platinum deposition

Harald Plank, Christian Gspan, Martina Dienstleder, Gerald Kothleitner, Ferdinand Hofer

Institut für Elektronenmikroskopie und Nanoanalytik (5190)

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	englisch
Seiten (von - bis)	485302-485311
Fachzeitschrift	Nanotechnology
Jahrgang	19
Ausgabenummer	48
DOIs	https://doi.org/10.1088/0957-4484/19/48/485302
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2008

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Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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10.1088/0957-4484/19/48/485302

Functional Nanofabrication
Dohr, J., Plank, H., Rosker, S., Winkler, R., Stermitz, M., Reisecker, V., Michelitsch, S. G. W., Brugger-Hatzl, M., Schmied, R., Eicher, B., Orthacker, A., Arnold, G., Sattelkow, J., Kolb, F., Ganner, T., Haselmann, U., Seewald, L. & Aschl, T.
1/01/09 → 31/12/23
Projekt: Forschungsprojekt

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T1 - The influence of beam defocus on volume growth rates for electron beam induced platinum deposition

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PY - 2008

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M3 - Article

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JO - Nanotechnology

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The influence of beam defocus on volume growth rates for electron beam induced platinum deposition

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Functional Nanofabrication

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