Surface analysis of dielectric films by time of flight SIMS

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)481-485
FachzeitschriftVacuum
Jahrgang43
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1992

Treatment code (Nähere Zuordnung)

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  • Experimental

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