Surface analysis of dielectric films by time of flight mass spectrometry

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in einem Konferenzband › Begutachtung

Originalsprache	englisch
Titel	3rd European Vacuum Conference Conference Handbook
Erscheinungsort	Wien
Herausgeber (Verlag)	.
Seiten	A 67-A 67
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 1991
Veranstaltung	European Vacuum Conference - Wien, Österreich Dauer: 23 Sept. 1991 → 27 Sept. 1991

Treatment code (Nähere Zuordnung)

@inproceedings{f349782d668b439aa02b7d0eb90753ae,

title = "Surface analysis of dielectric films by time of flight mass spectrometry",

author = "Manfred Leisch and Klaus Rendulic",

year = "1991",

language = "English",

pages = "A 67--A 67",

booktitle = "3rd European Vacuum Conference Conference Handbook",

publisher = ".",

note = "European Vacuum Conference ; Conference date: 23-09-1991 Through 27-09-1991",

}