Spatial chemistry evolution during focused electron beam-induced deposition: origins and workarounds

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1675-1688
FachzeitschriftApplied Physics / A
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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