Sliding Mode Control of a Distributed-Parameter Wafer Spin Clean Process

Stefan Koch, Martin Kleindienst, Jaime A. Moreno, Martin Horn

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelBegutachtung

Fingerprint

Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „Sliding Mode Control of a Distributed-Parameter Wafer Spin Clean Process“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

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