Single Source Precursors in FEBID and FIBID: Similarities and Differences for CoSix Deposition

F. Jungwirth, F. Porrati, Daniel Knez, Harald Plank, Michael Huth, Sven Barth

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in einem Konferenzband

Fingerprint

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Ingenieurwesen & Materialwissenschaft

Chemie