Simulation of the proton implantation process in silicon

Martin Faccinelli, Moriz Jelinek, Thomas Wuebben, Johannes G. Laven, Hans-Joachim Schulze, Peter Hadley

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

Originalspracheenglisch
Seitenumfang6
FachzeitschriftPhysica status solidi / C
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 19 Jul 2016

Schlagwörter

    Fields of Expertise

    • Advanced Materials Science

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