Rapid and highly compact purification for focused electron beam induced deposits: a room temperature approach using electron stimulated H2O reactions

Barbara Geier, Christian Gspan, Angelina Orthacker, Gerald Kothleitner, J.D. Fowlkes, P.D. Rack, Harald Plank

Publikation: Konferenzbeitrag(Altdaten) Vortrag oder Präsentation

Originalspracheenglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 22 Jul 2014
VeranstaltungFEBIP 2014 - Frankfurt, Deutschland
Dauer: 22 Jul 2014 → …

Konferenz

KonferenzFEBIP 2014
LandDeutschland
OrtFrankfurt
Zeitraum22/07/14 → …

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
  • Experimental

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