Rapid and Highly Compact Purification for Focused Electron Beam Induced Deposits: A Low Temperature Approach Using Electron Stimulated H2O Reactions

Barbara Geier, Christian Gspan, Jason D. Fowlkes, Harald Matthias Fitzek, Sebastian Rauch, Johannes Rattenberger, Philip D. Rack, Harald Plank, Robert Winkler

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)14009-14016
FachzeitschriftThe Journal of Physical Chemistry
Jahrgang118
Ausgabenummer25
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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