Preparation of mixtures of Silicon oxynitride and silicon nitride

Ferdinand Hofer, Edwin Hengge

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)501-504
FachzeitschriftAdvanced Materials
Jahrgang4
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1992

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
  • Experimental

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