Polymerisation von 2-Oxazolinen und deren Anwendung in der Photolithographie

Martin Fimberger, Andreas Behrendt, Franz Stelzer, Frank Wiesbrock

Publikation: Konferenzbeitrag › (Altdaten) Vortrag oder Präsentation

Originalsprache	deutsch
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 22 Juni 2015
Veranstaltung	Chemistry and Technology of Materials - Dauer: 23 Nov. 2011 → 8 Juni 2015

Konferenz	Chemistry and Technology of Materials
Zeitraum	23/11/11 → 8/06/15

Fields of Expertise

@conference{decd36baf6ff422f8f9009aba9f3e376,

title = "Polymerisation von 2-Oxazolinen und deren Anwendung in der Photolithographie",

author = "Martin Fimberger and Andreas Behrendt and Franz Stelzer and Frank Wiesbrock",

year = "2015",

month = jun,

day = "22",

language = "deutsch",

note = "Chemistry and Technology of Materials ; Conference date: 23-11-2011 Through 08-06-2015",

}