Poly(2-Oxazoline)-based Toolkit for High-Resolution-Photoresists with Tailor-made Adhesion

Martin Fimberger, Verena Schenk, Elisabeth Rossegger, Frank Wiesbrock

Institut für Chemische Technologie von Materialien (6380)

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1 Ergebnisse

Abgeschlossen
Surface chemistry and adhesive properties of designed photoresist polymers
Fimberger, M., Mühlbacher, I., Stelzer, F., Schenk, V. & Wiesbrock, F.
1/01/10 → 31/12/13
Projekt: Forschungsprojekt