Poly(2-Oxazoline)-Based Photoresists

Martin Fimberger, Verena Schenk, Elisabeth Rossegger, Frank Wiesbrock

Publikation: Konferenzbeitrag(Altdaten) Vortrag oder Präsentation

Originalspracheenglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 5 Jun 2013
VeranstaltungDocDays 2013 -
Dauer: 5 Jun 20136 Jun 2013

Konferenz

KonferenzDocDays 2013
Zeitraum5/06/136/06/13

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
  • Experimental

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