PARTICLE DENSITY SENSOR USING EVANESCENT WAVE OF WAVEGUIDE

Titel in Übersetzung: PARTIKELDICHTE-SENSOR UNTER VERWENDUNG DER EVANESZENZ EINES WELLENLEITERS

Jochen Kraft (Erfinder), Georg Röhrer (Erfinder), Fernando Castano (Erfinder), Anderson Singulani (Erfinder), Paul Maierhofer (Erfinder)

    Publikation: SchutzrechtPatent

    Abstract

    The particle sensor device comprises a substrate (1), a photodetector (3), a dielectric (4) on or above the substrate (1), a source of electromagnetic radiation (5), and a through-substrate via (6) in the substrate (1). The through-substrate via is exposed to the environment, in particular to ambient air. A waveguide (7) is arranged in or above the dielectric so that the electromagnetic radiation emitted by the source of electromagnetic radiation is coupled into a portion (7.1) of the waveguide. A further portion (7.2) of the waveguide is opposite the photodetector, so that said portions of the waveguide are on different sides of the through-substrate via, and the waveguide traverses the through-substrate via.

    Titel in ÜbersetzungPARTIKELDICHTE-SENSOR UNTER VERWENDUNG DER EVANESZENZ EINES WELLENLEITERS
    Originalspracheenglisch
    VeröffentlichungsnummerEP3499215
    IPCG01N 15/ 00 A N
    Prioritätsdatum15/12/17
    PublikationsstatusVeröffentlicht - 19 Jun 2019

    Fingerprint

    Untersuchen Sie die Forschungsthemen von „PARTIKELDICHTE-SENSOR UNTER VERWENDUNG DER EVANESZENZ EINES WELLENLEITERS“. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.

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