Optische Anordnung für Ellpisometrie

Eduard Gilli (Erfinder), Robert Schennach (Erfinder), Martin Kornschober (Erfinder)

Institut für Festkörperphysik (5130)

Publikation: Schutzrecht › Patent

Originalsprache	deutsch
Veröffentlichungsnummer	WO 2011/022745
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 3 März 2011

Fields of Expertise

Advanced Materials Science

Andere Dateien und Links

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Optische Anordnung für Ellipso - Optische Anordnung für Spektroskopische Ellipsometrie
Schennach, R., Kornschober, M. & Gilli, E.
1/10/09 → 31/03/11
Projekt: Forschungsprojekt
CD-Labor für Oberflächenphysikalische und chemische Grundlagen der Papierfestigkeit
Hirn, U., Bauer, W., Suppan, L., Miletzky, F. A., Diebald, S., Fischer, W. J., Gilli, E., Schennach, E., Lahti, J. A., Weber, F. & Schennach, R.
1/03/07 → 28/02/14
Projekt: Forschungsprojekt

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