Optische Anordnung für Ellipsometrie

Eduard Gilli (Erfinder), Robert Schennach (Erfinder), Martin Kornschober (Erfinder)

Institut für Festkörperphysik (5130)

Publikation: Schutzrecht › Patent

Originalsprache	deutsch
Veröffentlichungsnummer	AT 508690 A1
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 15 März 2011

Fields of Expertise

Advanced Materials Science

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Optische Anordnung für Ellipso - Optische Anordnung für Spektroskopische Ellipsometrie
Schennach, R., Kornschober, M. & Gilli, E.
1/10/09 → 31/03/11
Projekt: Forschungsprojekt
CD-Labor für Oberflächenphysikalische und chemische Grundlagen der Papierfestigkeit
Hirn, U., Bauer, W., Suppan, L., Miletzky, F. A., Diebald, S., Fischer, W. J., Gilli, E., Schennach, E., Lahti, J. A., Weber, F. & Schennach, R.
1/03/07 → 28/02/14
Projekt: Forschungsprojekt

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