Optimization of the FIB milling conditions for RTP-processed Niobium and Tantalumnitride thin films on silicon substrates

Martina Dienstleder, Michael Rogers, Gerald Kothleitner, Ferdinand Hofer, B.O. Kolbesen

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in einem KonferenzbandForschungBegutachtung

Originalspracheenglisch
TitelMicroscopy Conference - Dreiländertagung
Herausgeber (Verlag).
Seiten4-4
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2005
VeranstaltungMicroscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005 - Davos, Schweiz
Dauer: 28 Aug 20052 Sep 2005

Konferenz

KonferenzMicroscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005
LandSchweiz
OrtDavos
Zeitraum28/08/052/09/05

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