Optimization of the FIB milling conditions for RTP-processed Niobium and Tantalumnitride thin films on silicon substrates

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Originalsprache	englisch
Titel	Microscopy Conference - Dreiländertagung
Herausgeber (Verlag)	.
Seiten	4-4
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2005
Veranstaltung	Microscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005: MC05 - Davos, Schweiz Dauer: 28 Aug. 2005 → 2 Sept. 2005

Konferenz	Microscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005
Land/Gebiet	Schweiz
Ort	Davos
Zeitraum	28/08/05 → 2/09/05

Dieses zitieren

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TY - GEN

T1 - Optimization of the FIB milling conditions for RTP-processed Niobium and Tantalumnitride thin films on silicon substrates

AU - Dienstleder, Martina

AU - Rogers, Michael

AU - Kothleitner, Gerald

AU - Hofer, Ferdinand

AU - Kolbesen, B.O.

PY - 2005

Y1 - 2005

M3 - Conference paper

SP - 4

EP - 4

BT - Microscopy Conference - Dreiländertagung

PB - .

T2 - Microscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005

Y2 - 28 August 2005 through 2 September 2005

ER -