Optimization of the FIB milling conditions for RTP-processed Niobium and Tantalumnitride thin films on silicon substrates

Martina Dienstleder, Michael Rogers, Gerald Kothleitner, Ferdinand Hofer, Bernd Kolbesen

Publikation: KonferenzbeitragPosterForschung

Originalspracheenglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2005
VeranstaltungMicroscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005 - Davos, Schweiz
Dauer: 28 Aug 20052 Sep 2005

Konferenz

KonferenzMicroscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005
LandSchweiz
OrtDavos
Zeitraum28/08/052/09/05

Dies zitieren

Dienstleder, M., Rogers, M., Kothleitner, G., Hofer, F., & Kolbesen, B. (2005). Optimization of the FIB milling conditions for RTP-processed Niobium and Tantalumnitride thin films on silicon substrates. Postersitzung präsentiert bei Microscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005, Davos, Schweiz.

Optimization of the FIB milling conditions for RTP-processed Niobium and Tantalumnitride thin films on silicon substrates. / Dienstleder, Martina; Rogers, Michael; Kothleitner, Gerald; Hofer, Ferdinand; Kolbesen, Bernd.

2005. Postersitzung präsentiert bei Microscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005, Davos, Schweiz.

Publikation: KonferenzbeitragPosterForschung

Dienstleder M, Rogers M, Kothleitner G, Hofer F, Kolbesen B. Optimization of the FIB milling conditions for RTP-processed Niobium and Tantalumnitride thin films on silicon substrates. 2005. Postersitzung präsentiert bei Microscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005, Davos, Schweiz.
Dienstleder, Martina ; Rogers, Michael ; Kothleitner, Gerald ; Hofer, Ferdinand ; Kolbesen, Bernd. / Optimization of the FIB milling conditions for RTP-processed Niobium and Tantalumnitride thin films on silicon substrates. Postersitzung präsentiert bei Microscopy Conference 2005 - 6.Dreiländertagung 2005, Davos, Schweiz.
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TY - CONF

T1 - Optimization of the FIB milling conditions for RTP-processed Niobium and Tantalumnitride thin films on silicon substrates

AU - Dienstleder, Martina

AU - Rogers, Michael

AU - Kothleitner, Gerald

AU - Hofer, Ferdinand

AU - Kolbesen, Bernd

PY - 2005

Y1 - 2005

M3 - Poster

ER -