OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE

Eduard Gilli, (Erfinder), Robert Schennach, (Erfinder), Martin Kornschober, (Erfinder)

Publikation: SchutzrechtPatentForschung

Abstract

In einer optischen Anordnung (1) zum Messen spektroskopischer Eigenschaften einer an einer Probenposition (2) befindlichen Probe wird ein Lichtbündel über einen ersten Drehspiegel (7) und einen ersten bogenförmigen Hauptspiegel (8) auf die Probenposition in einem einstellbaren Einfallswinkel (f) gelenkt, und das von der Probenposition reflektierte Licht wird über einen zweiten bogenförmigen Hauptspiegel (18) und einen zweiten Drehspiegel (17) einer Messung zugeführt. Erster und zweiter Hauptspiegel (8, 18) haben eine Spiegelfläche, die zumindest einem streifenförmigen Ausschnitt einer Rotationsfläche um die Hauptachse (4) entspricht und die von dem ersten Drehspiegel (7) in dessen verschiedenen einstellbaren Drehpositionen ausgehendes Licht auf die Probenposition wirft, wobei die Drehspiegel (7, 17) einander gegenüber auf der Hauptachse (4) angeordnet sind und beide gegenüber ihren Drehachsen um einen Winkel geneigt sind.

Titel in ÜbersetzungOPTICAL ARRANGEMENT FOR ELLIPSOMETRY
Originalsprachedeutsch
VeröffentlichungsnummerWO2011022745
IPCG01N 21/ 21 A I
Prioritätsdatum26/08/09
PublikationsstatusVeröffentlicht - 3 Mär 2011

Fingerprint

rotating mirrors
ellipsometry
mirrors
arcs
bundles
casts
strip
incidence

Dies zitieren

Gilli, E., Schennach, R., & Kornschober, M. (2011). IPC Nr. G01N 21/ 21 A I. OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE. (Patent Nr. WO2011022745).

OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE. / Gilli, Eduard (Erfinder); Schennach, Robert (Erfinder); Kornschober, Martin (Erfinder).

IPC Nr.: G01N 21/ 21 A I. Patent Nr.: WO2011022745.

Publikation: SchutzrechtPatentForschung

Gilli, E, Schennach, R & Kornschober, M 2011, OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE, Patent Nr. WO2011022745, IPC Nr. G01N 21/ 21 A I.
Gilli, E, Schennach, R, Kornschober, M, Erfinder/-innen. OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE. G01N 21/ 21 A I. 2011 Mär 3.
Gilli, Eduard (Erfinder) ; Schennach, Robert (Erfinder) ; Kornschober, Martin (Erfinder). / OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE. IPC Nr.: G01N 21/ 21 A I. Patent Nr.: WO2011022745.
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TY - PAT

T1 - OPTISCHE ANORDNUNG FÜR ELLIPSOMETRIE

AU - Gilli,, Eduard

AU - Schennach,, Robert

AU - Kornschober,, Martin

PY - 2011/3/3

Y1 - 2011/3/3

N2 - In einer optischen Anordnung (1) zum Messen spektroskopischer Eigenschaften einer an einer Probenposition (2) befindlichen Probe wird ein Lichtbündel über einen ersten Drehspiegel (7) und einen ersten bogenförmigen Hauptspiegel (8) auf die Probenposition in einem einstellbaren Einfallswinkel (f) gelenkt, und das von der Probenposition reflektierte Licht wird über einen zweiten bogenförmigen Hauptspiegel (18) und einen zweiten Drehspiegel (17) einer Messung zugeführt. Erster und zweiter Hauptspiegel (8, 18) haben eine Spiegelfläche, die zumindest einem streifenförmigen Ausschnitt einer Rotationsfläche um die Hauptachse (4) entspricht und die von dem ersten Drehspiegel (7) in dessen verschiedenen einstellbaren Drehpositionen ausgehendes Licht auf die Probenposition wirft, wobei die Drehspiegel (7, 17) einander gegenüber auf der Hauptachse (4) angeordnet sind und beide gegenüber ihren Drehachsen um einen Winkel geneigt sind.

AB - In einer optischen Anordnung (1) zum Messen spektroskopischer Eigenschaften einer an einer Probenposition (2) befindlichen Probe wird ein Lichtbündel über einen ersten Drehspiegel (7) und einen ersten bogenförmigen Hauptspiegel (8) auf die Probenposition in einem einstellbaren Einfallswinkel (f) gelenkt, und das von der Probenposition reflektierte Licht wird über einen zweiten bogenförmigen Hauptspiegel (18) und einen zweiten Drehspiegel (17) einer Messung zugeführt. Erster und zweiter Hauptspiegel (8, 18) haben eine Spiegelfläche, die zumindest einem streifenförmigen Ausschnitt einer Rotationsfläche um die Hauptachse (4) entspricht und die von dem ersten Drehspiegel (7) in dessen verschiedenen einstellbaren Drehpositionen ausgehendes Licht auf die Probenposition wirft, wobei die Drehspiegel (7, 17) einander gegenüber auf der Hauptachse (4) angeordnet sind und beide gegenüber ihren Drehachsen um einen Winkel geneigt sind.

M3 - Patent

M1 - WO2011022745

ER -