On the transformation of "zincone"-like into porous ZnO thin films from sub-saturated plasma enhanced atomic layer deposition

Alberto Perrotta*, Julian Pilz, Stefan Pachmajer, Antonella Milella, Anna Maria Coclite

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

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