Observer-based temperature control of an LED heated silicon wafer

Martin Kleindienst, Markus Reichhartinger, Martin Horn, Felix Staudegger

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)96-108
FachzeitschriftJournal of Process Control
Jahrgang70
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2018

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