Model-Based Temperature Control in Thermal Processing of Silicon Wafers

Stefan Koch, Alexander Schaum, Martin Kleindienst, Markus Reichhartinger, Thomas Meurer, Jaime A. Moreno, Martin Horn

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in einem KonferenzbandBegutachtung

Originalspracheenglisch
Titel4th IFAC Workshop on Control of Systems Governed by Partial Differential Equations
PublikationsstatusAngenommen/In Druck - 2022
Veranstaltung4th IFAC Workshop on Control of Systems Governed by Partial Differential Equations - Kiel, Deutschland
Dauer: 5 Sep. 20227 Sep. 2022
http://cpde2022.org/

Konferenz

Konferenz4th IFAC Workshop on Control of Systems Governed by Partial Differential Equations
KurztitelCPDE
Land/GebietDeutschland
OrtKiel
Zeitraum5/09/227/09/22
Internetadresse

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