Mechanical Properties of 3D Nanostructures Obtained by Focused Electron/Ion Beam-Induced Deposition: A Review

Ivo Utke*, Johann Michler, Robert Winkler, Harald Plank

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelBegutachtung

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