Mechanical Properties of 3D Nanostructures Fabricated via Focused Electron Beam Induced Deposition

Johannes Fröch, Jürgen Sattelkow, Harald Plank

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in einem Konferenzband

Originalspracheenglisch
TitelThe 61 st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology, and Nanofabrication
Kapitel7A3
Seitenumfang2
PublikationsstatusVeröffentlicht - 30 Mai 2017

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  • Advanced Materials Science

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Fröch, J., Sattelkow, J., & Plank, H. (2017). Mechanical Properties of 3D Nanostructures Fabricated via Focused Electron Beam Induced Deposition. in The 61 st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology, and Nanofabrication