Lateral gradients in precursor working regimes and its consequences on the surface morphology of focused electron beam induced deposits

Robert Winkler, Jason D. Fowlkes, Aleksandra Szkudlarek, Ivo Utke, Philip D. Rack, Harald Plank

Publikation: Konferenzbeitrag(Altdaten) Vortrag oder PräsentationForschung

Originalspracheenglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 21 Jul 2014
VeranstaltungFEBIP 2014 - Frankfurt, Deutschland
Dauer: 21 Jul 201425 Jul 2014

Konferenz

KonferenzFEBIP 2014
LandDeutschland
OrtFrankfurt
Zeitraum21/07/1425/07/14

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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