Investigation of Doping Type Conversion and Diffusion Length Extraction of Proton Implanted Silicon by EBIC

Stefan Kirnstötter, Martin Mario Faccinelli, Peter Hadley, Reinhart Job, Werner Schustereder, Johannes Laven, Hans-Joachim Schulze

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)145-160
FachzeitschriftECS Transactions
Jahrgang50
Ausgabenummer5
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2013

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Application
  • Experimental

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